「俊敏」かつ「高信頼」なモータで，開発リードタイム短縮に貢献

Evolusi semikonduktor yang pesat memerlukan pembangunan peralatan baharu yang segera

Syarikat E ialah pengeluar peralatan yang mengendalikan proses "bahagian hadapan" dalam pembuatan semikonduktor.

近年，半導体業界では先進技術の開発も急ピッチで進んでおり，半導体技術はナノテクノロジーと密接に連携して，微細化・高集積化の動きを加速させています。
こうした背景からE社にも，半導体の飛躍的な進化に合わせて短期間での開発や，高スループットで安定した品質を実現しながらも低コストの装置開発が求められています。

Proses pengangkutan frekuensi tinggi memegang kunci untuk meningkatkan daya pemprosesan, tetapi peningkatan kos tidak dapat dielakkan!

Untuk mencapai daya pemprosesan yang tinggi, prestasi bahagian pengangkutan perlu dikaji semula. Encik S, ketua pereka di Syarikat E, menjelaskan cabaran yang terlibat dalam membangunkan peralatan baharu:

"Mesin semasa kami menggunakan sistem servo untuk kawasan yang memerlukan kelajuan dan ketepatan kedudukan, seperti pengangkutan wafer. Semasa membangunkan produk baharu, kami mempertimbangkan untuk meningkatkan saiz motor dan membangunkan perisian baharu untuk mempercepatkan bahagian pengangkutan. Walau bagaimanapun, ini akan mengambil masa untuk dibangunkan, dan peningkatan saiz peralatan juga akan menyebabkan penurunan produktiviti per unit kawasan."

Proses pembentukan litar di bahagian hadapan menyumbang sebahagian besar daripada proses pembuatan semikonduktor, jadi tahap daya pemprosesan yang lebih tinggi diperlukan. Tambahan pula, memandangkan kadar kehilangan pengeluaran dipengaruhi oleh ketepatan, kualiti yang stabil juga mesti dicapai. Tambahan pula, dengan harga pasaran semikonduktor yang jatuh, mengurangkan kos peralatan juga merupakan satu kemestian untuk memenuhi permintaan pengguna.

Menggabungkan yang terbaik antara kedua-dua motor servo dan motor stepping? Memberi tumpuan kepada "kebolehpercayaan" dan "tork tinggi"

Encik S, yang sedang membangunkan peralatan baharu, terjumpa sistem langkah gelung tertutup SANYO DENKI CO., LTD., "SANMOTION Model No.PB," di satu acara peralatan perindustrian. Beliau bercakap dengan seorang wakil jualan dan mengetahui bahawa terdapat kes di mana pengilang telah menerima pakai sistem ini dan mencapai penambahbaikan yang dramatik. Berfikir bahawa jika ia berkesan, mereka mungkin boleh mengaplikasikannya kepada perniagaan mereka sendiri, beliau meminta penjelasan yang terperinci.

Apa yang menarik perhatian Encik S khususnya ialah ia mempunyai tork yang lebih tinggi pada kelajuan rendah berbanding motor servo dan tidak mengalami masalah "langkah keluar" yang unik pada motor langkah. Memandangkan kebanyakan peralatan E melibatkan kedudukan lejang pendek, ciri tork yang tinggi pada kelajuan rendah adalah berfaedah, dan penambahbaikan seperti pengecilan unit pemacu dijangka dapat dicapai sambil mengekalkan ketepatan kedudukan yang sama.

Mencapai "kelajuan yang lebih tinggi" sambil mengekalkan kebolehpercayaan! Turut berjaya dalam "meningkatkan produktiviti" dengan ketara

Syarikat E serta-merta mula menilai "Model SANMOTION No.PB." Apabila mereka benar-benar menggunakannya, mereka mendapati bahawa tiada keperluan untuk tetapan parameter yang kompleks seperti servo, seperti pelarasan gandaan, dan sistem boleh dikawal dengan mudah hanya dengan menentukan nombor titik pratetap dan nombor program melalui I/O tujuan umum, jadi proses penilaian berjalan lancar. Mereka memperoleh keputusan berikut.

• Oleh kerana ia mempunyai tork yang lebih tinggi daripada motor servo biasa dalam julat kelajuan rendah, ia boleh mencapai ciri operasi yang sama atau lebih baik walaupun saiznya dikecilkan.
• Masa penentuan kedudukan dalam jarak pendek dikurangkan dengan ketara.
• Dengan menggunakan penguat bersepadu 4 paksi, ruang dapat dikurangkan sebanyak 75%.
• Ini juga membawa kepada pengurangan pendawaian dan pengurangan berat.
• Apabila dihentikan, kawalan bertukar kepada kawalan gelung terbuka, menghapuskan getaran mikro apabila kedudukan selesai.

Yakin dengan prestasi bahagian pengangkutan yang lebih baik, Syarikat E tidak lama kemudian memutuskan untuk menerima pakai "Model SANMOTION No.PB." Dengan menggabungkannya ke dalam peralatan pembuatan semikonduktor baharu mereka, mereka mencapai peningkatan prestasi yang ketara. Encik S merumuskan penggunaan produk ini seperti berikut:

"Pertemuan kami dengan SANMOTION Model No.PB telah membawa kepada penambahbaikan prestasi yang inovatif. Dengan meningkatkan kelajuan sambil mengekalkan kebolehpercayaan, kami telah mencapai tahap daya pemprosesan tertinggi dalam industri. Kami juga dapat mengurangkan saiz bahagian pengangkutan sebanyak kira-kira separuh, yang membolehkan kami menambah lebih banyak unit dan meningkatkan produktiviti setiap unit kawasan secara dramatik. Tambahan pula, dengan menggantikan sistem servo kami sebelum ini, kami telah mengurangkan kos sistem pemacu sebanyak kira-kira 75%."

Peralatan baharu Syarikat E telah menerima pujian yang tinggi daripada pengguna, dan peralatan syarikat itu kemungkinan besar akan terus menyokong pembuatan semikonduktor pada masa hadapan.

Untuk maklumat lanjut tentang motor penginjak, sila lihat "Apakah motor penginjak? Penjelasan tentang mekanisme, jenis, kegunaan (sistem pemacu dan kaedah kawalan), kelebihan dan ciri-cirinya."​

公開日：2010-12-10 00:00