Nhiều nhà sản xuất chất bán dẫn trong nước đang bận rộn tăng cường sản xuất để đáp ứng nhu cầu ngày càng tăng đối với các thiết bị kỹ thuật số ngày càng nhỏ hơn và phức tạp hơn, chẳng hạn như điện thoại thông minh và TV màn hình phẳng, cũng như ô tô ngày càng thông minh hơn. Hơn nữa, trong thị trường bán dẫn gần đây, ngoài việc ngày càng nhỏ hơn, mỏng hơn và đa chức năng hơn, giá cả đang giảm và điện thoại di động ngày càng trở nên phổ biến hơn trên toàn thế giới, điều này được kỳ vọng sẽ dẫn đến sự thay thế nhanh chóng các thiết bị analog.
Để đáp ứng xu hướng này, các nhà sản xuất thiết bị tham gia vào từng quy trình sản xuất chất bán dẫn được yêu cầu phải đáp ứng nhanh chóng những đổi mới công nghệ hỗ trợ thu nhỏ và tích hợp cao hơn.
Công ty E là nhà sản xuất thiết bị chịu trách nhiệm về "quy trình đầu cuối" trong sản xuất chất bán dẫn.
Trong những năm gần đây, sự phát triển của công nghệ tiên tiến trong ngành bán dẫn đã phát triển với tốc độ nhanh chóng, với việc sản xuất hàng loạt các thiết bị có chiều rộng đường truyền 32 nm (nanomet) đã phát triển mạnh mẽ ở một số khu vực và sự phát triển của công nghệ thiết bị cho 22 nm trở lên cũng đang phát triển ổn định, công nghệ bán dẫn được liên kết chặt chẽ với công nghệ nano, thúc đẩy xu hướng thu nhỏ và tích hợp cao hơn.
Trong bối cảnh đó, Công ty E được yêu cầu phát triển thiết bị trong thời gian ngắn phù hợp với sự phát triển nhanh chóng của chất bán dẫn và phát triển thiết bị với chi phí thấp đồng thời đạt được công suất cao và chất lượng ổn định.
Để đạt được thông lượng cao, cần phải xem xét lại hiệu quả hoạt động của bộ phận vận tải. Ông S, trưởng thiết kế của Công ty E, nói về những thách thức gặp phải trong việc phát triển thiết bị mới.
"Trong máy hiện tại, hệ thống servo được sử dụng cho các bộ phận đòi hỏi tốc độ và độ chính xác định vị, chẳng hạn như vận chuyển wafer. Khi phát triển sản phẩm mới, để tăng tốc hơn nữa bộ phận vận chuyển, cần phải tăng kích thước động cơ và phát triển Tuy nhiên, việc phát triển phần mềm không chỉ mất thời gian mà việc tăng kích thước của thiết bị cũng dẫn đến giảm năng suất trên một đơn vị diện tích.
Quá trình tiền xử lý để tạo mạch chiếm phần lớn quy trình sản xuất chất bán dẫn và do đó đòi hỏi mức thông lượng cao hơn. Ngoài ra, do tỷ lệ hao hụt trong sản xuất được xác định bởi độ chính xác nên chất lượng ổn định cũng phải đạt được đồng thời. Hơn nữa, do giá bán dẫn trên thị trường giảm nên cần xem xét giảm giá thành thiết bị để đáp ứng nhu cầu người dùng.
Ông S, người đang tiếp tục phát triển thiết bị mới, đã tình cờ gặp Hệ thống Stepping khép kín `` SANMOTION Model No.PB (Vòng kín)'' của SANYO DENKI CO., LTD. tại một sự kiện về thiết bị công nghiệp. Khi tôi nói chuyện với một đại diện bán hàng, tôi được biết rằng có nhiều nhà sản xuất đã áp dụng hệ thống này và đạt được những cải tiến đáng kể. Tôi quyết định yêu cầu giải thích chi tiết, nghĩ rằng nếu làm tốt thì có thể áp dụng được cho bản thân.
Trong số này, ông S tập trung vào thực tế là mô-men xoắn ở dải tốc độ thấp lớn hơn mô-men xoắn của động cơ servo và không có đặc tính “bước ra” của động cơ bước. Do hầu hết thiết bị của Công ty E được sử dụng để định vị hành trình ngắn nên đặc tính mô-men xoắn cao ở dải tốc độ thấp là lợi thế và chúng tôi có thể mong đợi những cải tiến như giảm kích thước bộ truyền động trong khi vẫn duy trì độ chính xác định vị tương tự.
Công ty E ngay lập tức bắt đầu đánh giá "SANMOTION Model No.PB (Vòng kín)" Khi chúng tôi thực sự vận hành hệ thống, không cần cài đặt thông số phức tạp như điều chỉnh độ lợi, chẳng hạn như với một servo, và chúng tôi có thể dễ dàng điều khiển hệ thống bằng cách chỉ định số điểm đặt trước và số chương trình bằng cách sử dụng I/mục đích chung. O. Quá trình diễn ra suôn sẻ. Và tôi đã nhận được kết quả sau.
Tin chắc rằng hiệu suất của bộ phận vận tải có thể được cải thiện, Công ty E đã sớm quyết định áp dụng "SANMOTION Model No.PB (Vòng kín)". Bằng cách kết hợp nó vào thiết bị sản xuất chất bán dẫn mới, họ đã có thể cải thiện đáng kể hiệu suất. Ông S tóm tắt đợt tuyển dụng này như sau.
``Lần này, tôi phát hiện ra SANMOTION Model No.PB (Vòng kín), dẫn đến những cải tiến hiệu suất mang tính cách mạng. Bằng cách tăng tốc độ trong khi vẫn duy trì độ tin cậy, chúng tôi có thể đạt được mức thông lượng cao nhất trong ngành. Vì chúng tôi có thể giảm kích thước của bộ phận vận chuyển xuống khoảng một nửa nên chúng tôi có thể tăng số lượng thiết bị bổ sung có thể lắp đặt, cải thiện đáng kể năng suất trên mỗi đơn vị diện tích. Ngoài ra, bằng cách thay thế hệ thống servo thông thường, chi phí hệ thống truyền động đã giảm khoảng 75%. ”
Thiết bị mới của Công ty E đã nhận được sự đánh giá cao từ người dùng. Thiết bị của công ty sẽ tiếp tục hỗ trợ sản xuất chất bán dẫn.
Để biết thêm thông tin về động cơ bước, vui lòng xem thêm "Động cơ bước là gì? Giải thích cơ chế, chủng loại, cách sử dụng (phương pháp truyền động và phương pháp điều khiển), lợi ích và tính năng."
ngày phát hành:
Sản xuất đặt mục tiêu số 1 thế giới
Khả năng kỹ thuật cho phép tùy chỉnh nâng cao
sắp kỷ niệm 100 năm
mạng lưới toàn cầu
