结合伺服马达和步进马达的优点? 着眼于「可靠性」和「高扭矩」

在开发新型装置的S先生，在某个产业机器的活动上遇见了山洋电气的闭环步进系统「SANMOTION Model No.PB」。询问了营业担当，得知先前有采用了此款系统后得到突破性改善的厂家。顺利的话，可以做到最合适贵公司的方案，对此S先生想要更进一步的了解。

S先生想要了解的是，与伺服马达相比在低速区域内扭矩较大和步进马达特有的无「不同步」的特点。由于E公司的装置齿轮密集，占据大半位置，卫视在低速区域内有效的活用高扭矩的特性，保持同样位置的精确度的前提下，期待减少驱动部分等的改善效果。

保持可靠性，实现「高速化」！取得大幅提高「生产性」的成功

E公司随即开始了对「SANMOTION Model No.PB」的评测。在实际操作中不需要像有伺服系统那样获取调整等复杂的参数设定，需要重新设定点数号码，程序号码，只需控制使用指定I / O通用的简单的系统，评价工程顺利的进行。以下是得出的结果。

• 在低速区域内,与一般的伺服马达相比为了提高扭矩,即使缩小尺寸也要保持同等以上的动作特性。
• 由于距离位置的缩短大幅减少了时间。
• 采用了4轴一体型风扇后，实现了节省75%的空间。
• 实现了节省配线和减轻重量。
•  开环制御停止时为了切换，位置回归结束时的微振动为零。

确信了运送部分性能的提高的E公司，基本决定采用「SANMOTION Model No.PB」。随之，组装新的半导体制造装置的性能得到了大幅度的提高。S先生对于本次采用的总结。

「次，采用了「SANMOTION Model No.PB」，使性能得到了突破性的提高。保持可靠性的同时实现高速化达到业界最高级别的开闭量。运送部分缩小了一半，增加了单位的追加搭载数，每个单位面积的生产力有显着改善。再加上，从既往的伺服系统替换，驱动部分的成本大约节省了75%。」

E公司的新装置，也得到了用户的高度评价。该公司的装置今后也支持着半导体装置的制造。