「俊敏」かつ「高信頼」なモータで，開発リードタイム短縮に貢献

अर्धचालकों के नाटकीय विकास के अनुरूप उपकरण विकसित करने की तत्काल आवश्यकता है।

कंपनी ई एक उपकरण निर्माता है जो सेमीकंडक्टर निर्माण में "फ्रंट-एंड प्रक्रिया" के लिए जिम्मेदार है।

近年，半導体業界では先進技術の開発も急ピッチで進んでおり，半導体技術はナノテクノロジーと密接に連携して，微細化・高集積化の動きを加速させています。
こうした背景からE社にも，半導体の飛躍的な進化に合わせて短期間での開発や，高スループットで安定した品質を実現しながらも低コストの装置開発が求められています。

उच्च-आवृत्ति परिवहन प्रक्रियाएं थ्रूपुट में सुधार की कुंजी रखती हैं। लागत वृद्धि अपरिहार्य है! ?

उच्च थ्रूपुट प्राप्त करने के लिए, परिवहन अनुभाग के प्रदर्शन की समीक्षा करना आवश्यक था। कंपनी ई के मुख्य डिजाइनर श्री एस, नए उपकरण विकसित करने में आने वाली चुनौतियों के बारे में बात करते हैं।

"वर्तमान मशीन में, एक सर्वो प्रणाली का उपयोग उन हिस्सों के लिए किया जाता है जिनके लिए गति और स्थिति सटीकता की आवश्यकता होती है, जैसे वेफर परिवहन। नए उत्पादों को विकसित करते समय, परिवहन भाग को और तेज़ करने के लिए, मोटर आकार को बढ़ाना और विकसित करना आवश्यक है हालाँकि, न केवल विकास में समय लगता है, बल्कि उपकरण का आकार बढ़ने से प्रति इकाई क्षेत्र उत्पादकता में भी कमी आती है।

सर्किट बनाने की पूर्व-प्रक्रिया में सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया का अधिकांश भाग शामिल होता है, और इसलिए उच्च स्तर के थ्रूपुट की आवश्यकता होती है। इसके अलावा, चूंकि उत्पादन हानि की दर सटीकता से निर्धारित होती है, इसलिए स्थिर गुणवत्ता भी उसी समय हासिल की जानी चाहिए। इसके अलावा, अर्धचालकों के बाजार मूल्य में गिरावट के कारण, उपयोगकर्ता की मांगों को पूरा करने के लिए उपकरणों की लागत को कम करने पर विचार करना आवश्यक है।

सर्वो मोटर्स और स्टेपिंग मोटर्स की सर्वोत्तम विशेषताएं क्या हैं? "विश्वसनीयता" और "उच्च टोक़" पर ध्यान दें

नये उपकरणों का विकास जारी रखते हुए, श्री एस को एक औद्योगिक उपकरण कार्यक्रम में सान्यो डेन्की कंपनी लिमिटेड की क्लोज्ड-लूप स्टेपिंग सिस्टम" SANMOTION PB (क्लोज्ड लूप)" के बारे में पता चला। जब मैंने एक विक्रय प्रतिनिधि से बात की, तो मुझे पता चला कि ऐसे कई निर्माता हैं जिन्होंने इस प्रणाली को अपनाया है और नाटकीय सुधार हासिल किया है। उम्मीद है कि हम इसे अपनी स्थिति पर लागू कर सकेंगे, इसलिए हमने विस्तृत स्पष्टीकरण मांगा।

इनमें से, श्री एस ने इस तथ्य पर ध्यान केंद्रित किया कि कम गति सीमा में टॉर्क सर्वो मोटर की तुलना में अधिक है, और स्टेपिंग मोटर्स की कोई "स्टेप-आउट" विशेषता नहीं है। चूंकि कंपनी ई के अधिकांश उपकरण शॉर्ट-स्ट्रोक पोजिशनिंग के लिए उपयोग किए गए थे, कम गति रेंज में उच्च टोक़ विशेषताएँ फायदेमंद थीं, और हम समान पोजिशनिंग सटीकता को बनाए रखते हुए ड्राइव यूनिट को छोटा करने जैसे सुधारों की उम्मीद करने में सक्षम थे।

विश्वसनीयता से समझौता किए बिना "उच्च गति" प्राप्त करना! महत्वपूर्ण "उत्पादकता सुधार" में सफलता

कंपनी ई ने तुरंत "SANMOTION PB (क्लोज्ड लूप)" का मूल्यांकन शुरू कर दिया। जब हमने वास्तव में इसे प्रचालन में लाया, तो हमने पाया कि इसमें सर्वो की तरह लाभ समायोजन जैसे जटिल पैरामीटर सेटिंग्स की कोई आवश्यकता नहीं थी, तथा सिस्टम को सामान्य प्रयोजन I/O के माध्यम से पूर्व-निर्धारित बिंदु संख्याओं और प्रोग्राम संख्याओं को निर्दिष्ट करके आसानी से नियंत्रित किया जा सकता था, जिससे मूल्यांकन प्रक्रिया सुचारू रूप से चल सकी। और मुझे निम्नलिखित परिणाम मिले:

• कम गति सीमा में, टॉर्क सामान्य सर्वो मोटर की तुलना में अधिक होता है, इसलिए भले ही मोटर का आकार छोटा हो, समान या बेहतर परिचालन विशेषताएँ प्राप्त की जा सकती हैं।
• कम दूरी पर पोजिशनिंग का समय काफी कम कर देता है।
• 4-अक्ष एकीकृत एम्पलीफायर को अपनाने से, 75% की अंतरिक्ष बचत हासिल की गई है।
• इससे वायरिंग और वजन भी कम हो गया।
• रुकने पर, सिस्टम ओपन-लूप नियंत्रण पर स्विच हो जाता है, इसलिए पोजीशनिंग पूरी होने पर कोई मामूली कंपन नहीं होता है।

परिवहन अनुभाग के बेहतर प्रदर्शन से आश्वस्त होकर, कंपनी ई ने जल्द ही "SANMOTION PB (क्लोज्ड लूप)" को अपनाने का फैसला किया। इसे नए अर्धचालक विनिर्माण उपकरणों में शामिल करने से प्रदर्शन में महत्वपूर्ण सुधार हासिल किया गया। श्री एस ने इस भर्ती का सारांश इस प्रकार दिया है:

"इस बार, हमने SANMOTION PB (क्लोज्ड लूप) की खोज की, जिसके परिणामस्वरूप प्रदर्शन में नाटकीय सुधार हुआ। विश्वसनीयता से समझौता किए बिना गति बढ़ाकर, हमने उद्योग में उच्चतम स्तर की उत्पादकता हासिल की है। क्योंकि हम परिवहन अनुभाग के आकार को लगभग आधे तक कम करने में सक्षम थे, हम स्थापित की जा सकने वाली अतिरिक्त इकाइयों की संख्या बढ़ाने में सक्षम थे, जिससे प्रति इकाई क्षेत्र में उत्पादकता में नाटकीय रूप से सुधार हुआ। इसके अलावा, पारंपरिक सर्वो प्रणाली को प्रतिस्थापित करने से ड्राइव सिस्टम की लागत लगभग 75% कम हो गई। "

कंपनी ई के नए उपकरण को उपयोगकर्ताओं से उच्च प्रशंसा मिली है। कंपनी के उपकरण सेमीकंडक्टर विनिर्माण को समर्थन देना जारी रखेंगे।

स्टेपिंग मोटर्स के बारे में अधिक जानकारी के लिए, कृपया यह भी देखें "स्टेपिंग मोटर क्या है? इसके तंत्र, प्रकार, इसका उपयोग कैसे करें (ड्राइव विधि और नियंत्रण विधि), लाभ और विशेषताएं बताएं।"​

公開日：2010-12-10 00:00