Ano ang pinakamahusay na control motor para sa kagamitan sa paggawa ng semiconductor?

1. Mga uri ng control motor at mga selection point

Mayroong iba't ibang uri ng control motor na ginagamit sa kagamitan sa paggawa ng semiconductor, gaya ng ipinapakita sa ibaba. Mahalagang maunawaan ang mga katangian ng bawat isa at piliin ang pinakamainam na motor ayon sa mga kinakailangang detalye para sa bawat proseso.

1) Motor na servo

Kayang kontrolin ng motor na ito ang posisyon, bilis, at metalikang kuwintas nang may mataas na katumpakan. Ang closed-loop control gamit ang isang high-resolution encoder ay nakakamit ng parehong high-precision positioning at mataas na responsiveness.

Ito ay mainam para sa mga aplikasyon na nangangailangan ng kontrol na may katumpakan, tulad ng mga yugto ng paglilipat at mga mekanismo ng pagkakahanay, at ginagamit sa maraming proseso sa kagamitan sa paggawa ng semiconductor.
Sa kabilang banda, mas mahal ang mga ito kaysa sa mga stepping motor at medyo mas kumplikado ang mga sistema ng kontrol nito.

②Linear na servo motor

Ito ay isang control motor na direktang nagsasagawa ng linear motion sa halip na rotation.
Hindi ito nangangailangan ng mekanismo ng pag-convert mula rotation-to-linear gaya ng ball screw, at nakakamit ng mataas na bilis ng operasyon sa mahabang stroke, mataas na katumpakan, lubos na tumutugong pagpoposisyon, at matatag na operasyon sa mataas na saklaw ng acceleration. Dahil kakaunti ang mga bahagi ng pagkasira, madali rin itong mapanatili.

Ang mga control motor ay kadalasang ginagamit sa mga kagamitan sa paggawa ng semiconductor, lalo na sa mga prosesong nangangailangan ng mga operasyon sa pagpoposisyon na may mataas na bilis at katumpakan.

③Motor na panghakbang

Ito ay isang control motor na may simpleng istraktura na gumagamit ng open loop control.
Angkop ang mga ito para sa mga paulit-ulit na operasyon at mga aplikasyon ng magaan na karga, at epektibo para sa mga operasyon ng steady-state tulad ng supply ng gas at pagkontrol ng balbula. Mas mura ang mga ito kaysa sa mga servo motor at nag-aalok ng mahusay na pagganap sa gastos. Gayunpaman, mayroon silang mga isyu tulad ng error sa pagpoposisyon, step-out, at panginginig ng boses, at mas mababa sa mga servo motor sa mga tuntunin ng katumpakan ng kontrol.

Sa mga kagamitan sa paggawa ng semiconductor, karaniwang ginagamit ang mga ito sa mga prosesong tulad ng pagbubukas at pagsasara ng pinto na medyo mabagal at hindi nangangailangan ng mataas na paggana at mataas na katumpakan sa pagpoposisyon ng mga servo motor.

④Saradong motor na panghakbang

​Pinagsasama ng control motor na ito ang mga katangian ng servo motor at stepping motor, na may paraan ng pagkontrol na awtomatikong lumilipat mula sa closed-loop control habang umiikot patungo sa open-loop control kapag huminto.
Kung ikukumpara sa mga stepping motor, ang mga ito ay hindi gaanong madaling mag-step-out, may mas mababang vibration at ingay, at nag-aalok ng mataas na reliability at precision, habang nagbibigay ng maayos na operasyon na halos katulad ng sa isang servo motor. Bukod pa rito, para sa mga aplikasyon na hindi nangangailangan ng mataas na functionality at performance ng isang servo motor, pinapayagan nila ang paggawa ng mas murang mga sistema.

Sa mga kagamitan sa paggawa ng semiconductor, ang mga control motor ay kadalasang ginagamit sa mga prosesong nagbibigay-diin sa balanse sa pagitan ng operational performance ng isang servo motor at ng kadalian at gastos ng isang stepping motor.

2. Anong pagganap ng motor ang angkop para sa kagamitan sa paggawa ng semiconductor?

Ang mga kagamitan sa paggawa ng semiconductor ay nangangailangan ng advanced na kontrol, at ang mga motor ay kinakailangang magkaroon ng ibang pagganap kaysa sa mga nasa pangkalahatang makinaryang pang-industriya.
Dito, tututuon tayo sa mga servo motor at ipapaliwanag ang mga pangunahing punto ng pagganap ng mga motor na angkop para sa mga kagamitan sa paggawa ng semiconductor.

May sapat na katangian ng metalikang kuwintas

Kapag pumipili ng servo motor para sa kagamitan sa paggawa ng semiconductor, ang unang bagay na dapat isaalang-alang ay ang mga katangian ng torque na maaasahang makapagpapatakbo ng load ng kagamitan. Bukod sa maximum torque at continuous torque, kinakailangan ding isaalang-alang kung sapat na ang panandaliang peak torque habang acceleration at deceleration.

Mataas na resolusyon ng encoder

Ang katumpakan ng pagkontrol ng isang servo motor ay lubos na naaapektuhan ng paraan ng resolusyon at pagtuklas ng encoder. Ang mga motor na may mga high-resolution encoder ay kadalasang ginagamit sa mga prosesong nangangailangan ng partikular na pinong pagpoposisyon.

Malawak na bandwidth ng kontrol

Ang control bandwidth ng isang servo motor ay nakakaapekto sa oras ng pag-settling sa pagpoposisyon at mga katangian ng pagsugpo ng vibration. Sa mga aplikasyon na nangangailangan ng paulit-ulit na paggalaw at paghinto sa mataas na bilis, kinakailangan ang isang komprehensibong pag-aaral, kabilang ang pagsasaayos ng gain ng control system at mga hakbang upang maiwasan ang resonance sa istruktura ng kagamitan.

Maliit na panlabas na sukat at bigat

Ang mga kagamitan sa paggawa ng semiconductor ay kadalasang nangangailangan ng pag-install ng maraming ehe sa isang limitadong espasyo. Kung malaki ang panlabas na sukat o bigat ng motor, naglalagay ito ng mga paghihigpit sa pangkalahatang disenyo ng kagamitan, kaya mahalaga na ang motor ay maliit at magaan.

Napakahusay na koneksyon at kakayahang mapalawak gamit ang mga control amplifier

Ang isang servo system ay hindi lamang isang motor, kundi kino-configure ito kasabay ng isang servo amplifier at isang mas mataas na antas ng control device. Samakatuwid, kapag pumipili ng motor, dapat isaalang-alang ang pagiging tugma sa mga network protocol (EtherCAT, EtherNet/IP, atbp.) at ang kakayahang mapalawak gamit ang iba't ibang sensor at mga function sa kaligtasan.

Mababang panginginig ng boses, mababang pagbuo ng init, at mahusay na pagtitipid ng enerhiya

Ang mga kagamitan sa paggawa ng semiconductor ay nangangailangan ng matatag at mataas na katumpakan na operasyon, kaya ang mga panginginig ng boses at init na nalilikha ng mga motor ay maaaring magkaroon ng negatibong epekto sa proseso.
Bukod pa rito, ang mga kagamitan sa paggawa ng semiconductor ay kumokonsumo ng malaking halaga ng kuryente sa pangkalahatan, kaya kinakailangan din ang mga motor na may mataas na kahusayan sa enerhiya mula sa pananaw ng pagbabawas ng epekto sa kapaligiran at pagtugon sa napapanatiling pag-unlad.

Kasama ang mga tampok sa kaligtasan

Ang ilang servo amplifier ay may kasamang mga tampok sa kaligtasan tulad ng pagkontrol ng preno at paglimita ng torque. Mula sa pananaw ng pagsunod sa mga pamantayan sa kaligtasan para sa buong sistema, suriin ang mga tampok sa kaligtasan ng motor at amplifier at ipatupad ang mga ito kung kinakailangan.

Mahabang buhay ng produkto at mataas na pagiging maaasahan

Dahil ang mga kagamitan sa paggawa ng semiconductor ay kadalasang nangangailangan ng 24-oras na tuluy-tuloy na operasyon, mahalaga ang mataas na pagiging maaasahan ng mga servo motor. Mahalagang pumili ng mga servo motor na idinisenyo para sa pangmatagalang operasyon, kabilang ang sistema ng suporta ng tagagawa.

3. Linya ng mga produktong control motor ng SANYO DENKI CO., LTD.

Nag-aalok SANYO DENKI CO., LTD. ng malawak na hanay ng mga control motor upang matugunan ang magkakaibang pangangailangan ng mga kagamitan sa paggawa ng semiconductor.

Servo motor na "SANMOTION G"

Nakakamit ng AC servo system na ito ang advanced servo performance at pagtitipid ng enerhiya.
Ang bilis ng frequency response ay nadagdagan sa 3.5 kHz (1.6 beses na mas mataas kaysa sa aming nakaraang modelo*), at ang mga high-resolution encoder ay makukuha mula sa karaniwang 23 bit (64 beses na mas mataas kaysa sa aming nakaraang modelo*) hanggang sa maximum na 27 bit. Bukod pa rito, ang compact at magaan na disenyo ay nakakatulong sa pagpapaliit ng kagamitan at mga disenyong nakakatipid ng espasyo.
*Ang aming nakaraang produkto: AC servo system SANMOTION R

Linya ng servo motor

Nakakamit nito ang mataas na bilis at mataas na katumpakan na linear motion, na nakakatulong sa mas maikling cycle times at pinahusay na produktibidad.
Ang mga linear servo motor ay walang mga bahaging nadididikit o nasisira nang mekanikal, tulad ng mga ball screw, kaya binabawasan nito ang dalas ng pagpapanatili ng kagamitan.
Bukod sa flat type, kasama rin sa aming lineup ang isang center magnet type na maaaring magpasimple sa istruktura ng device sa pamamagitan ng pagkansela sa magnetic attraction force sa loob mismo ng motor, at isang high-acceleration twin type linear servo motor.

Motor na panghakbang "SANMOTION F"

Nakakamit ang mataas na torque, mababang vibration, at mababang ingay. Sa pamamagitan ng pagsusuri at pag-optimize sa disenyo ng mga bahagi, nakamit namin ang makabuluhang pagbawas sa laki at timbang, habang nakakamit pa rin ang mataas na torque.
Ang mga stepping driver ng seryeng "SANMOTION F" ay sumusunod sa mga internasyonal na pamantayan sa kaligtasan ng produkto (tulad ng mga pamantayan ng UL) bilang mga karaniwang detalye. Malawak ang hanay ng mga produkto, at mayroon ding mga linear drive stepping motor. Posible ang flexible na pagpapasadya upang matugunan ang mga indibidwal na pangangailangan ng customer, kabilang ang compatibility ng vacuum environment, pagproseso ng shaft, at pag-install ng damper.

Pahina ng mga detalye: Mga halimbawa ng pagpapasadya ng motor

Motor na may saradong loop na stepping "SANMOTION Model No.PB"

Ang stepping motor ay mas madaling gamitin kaysa sa servo motor at mas maaasahan kaysa sa stepping motor, na pinagsasama ang mga bentahe ng parehong uri ng motor.
Awtomatikong lumilipat ang position detection sensor sa pagitan ng closed-loop control habang umiikot at open-loop control kapag huminto.
Pinipigilan nito ang pagkawala ng synchronization tulad ng sa mga stepping motor, na nakakatulong sa mas mababang vibration at pinahusay na pagiging maaasahan ng kagamitan.

Pinangangasiwaan ng: SANMOTION Group, Departamento ng Pagbebenta, SANYO DENKI CO., LTD.

Petsa ng paglabas: 2026-02-20 00:00