利用“敏捷”且“高可靠性”的馬達，為縮短開發前導時間做贡獻。

與半導體飛躍性發展相適應的裝置開發迫在眉睫

E公司是負責半導體制造“前期工序”的設備廠商。

近年來，半導體產業先進技術發展突飛猛進，部分地區線寬32nm（奈米）裝置的量產已全面展開，裝置技術的發展也不斷加快。 ，加速了小型化和更高整合度的趨勢。
在此背景下，E公司需要在短時間內開發出符合半導體快速發展的設備，並以低成本開發設備，同時實現高產量和穩定的品質。

高頻率搬運工序是提高吞吐量的關鍵。成本增加是不可避免的!

為了實現高吞吐量，有必要重新審視運送部分的性能。E公司設計主任S在談到新裝置開發面臨的課題時這樣說道。

「現有機型在晶圓搬運等要求速度和定位精度的部分採用了伺服係統。在新產品開發過程中，為了進一步提高搬運部分的速度，我們對增加馬達尺寸和軟體開發等進行了研究。但是，不僅開發時間長，而且隨著設備尺寸的增大，單位面積的生產效率也會下降。」

由於形成電路的前期工序占半導體制造工序的大部分，因此要求更高的吞吐量。此外，由於制造損耗的比例取決於精度，因此必須同時實現穩定的質量。另外，隨著半導體市場價格的下滑，為了滿足用戶的要求，還必須考慮降低設備成本。

伺服電機和步進電機的優點?著眼於“可靠性”和“高扭矩”

繼續開發新設備的S先生在一次工業設備活動中偶然發現了山洋電氣的閉環步進系統“ SANMOTION 型號PB (閉迴路)”。當我與銷售代表交談時，我被告知有一些製造商採用了該系統並取得了顯著改進的例子。我決定請教詳細的解釋，心想如果我做得好的話，也許能應用在自己身上。

其中S註意到的一點是:與伺服馬達相比，低速區的扭矩更大，而且沒有步進馬達特有的“失調”。在E公司的裝置中，由於短行程的定位占了大半部分，因此在低速區的高扭矩特性發揮了有利作用，在保持同等定位精度的同時，驅動部分的尺寸縮小等改善效果值得期待。

實現可靠性的“高速化”!成功實現了重大的“生產力提升”

E公司立即開始評估「SANMOTION 型號PB (閉迴路)」。當我們實際作業系統時，不需要像伺服一樣進行增益調整等複雜的參數設置，只需使用通用I/I指定預置點編號和程式編號即可輕鬆控制系統。我得到了以下結果。

• 在低速區，由於扭矩比普通伺服馬達高，因此即使縮小尺寸，也能獲得同等以上的工作特性。
• 大幅縮短了短距離間的定位時間。
• 通過採用4軸一體型放大器，節省了75%的空間。
• 它還有助於節省佈線和減輕重量。
• 由於停止時切換為開環控制，因此定位完成時的微振動為零。

E公司確信運輸部分的表現可以改善，很快就決定採用「SANMOTION 型號PB (閉迴路)」。透過將其整合到新的半導體製造設備中，他們能夠顯著提高性能。 S先生將本次招聘總結如下。

『這次，我遇到了『SANMOTION 型號PB (閉迴路)它帶來了革命性的效能改進。透過在保持可靠性的同時提高速度，我們能夠實現業界最高水準的吞吐量。由於我們能夠將運輸部件的尺寸減少約一半，因此我們能夠增加可安裝的額外單元的數量，從而顯著提高單位面積的生產率。此外，透過替換傳統伺服系統，驅動系統成本降低了約75%。 」

E公司的新裝置也得到了用戶的高度評價。該公司的設備將繼續支持半導體制造。

有關步進馬達的更多信息，請另參閱「什麼是步進馬達？解釋其機理、類型、如何使用它（驅動方法和控制方法）、優點和特點」。​

發布日期：2019-01-07 00:00