Apakah motor kawalan terbaik untuk peralatan pembuatan semikonduktor?

1. Jenis motor kawalan dan titik pemilihan

Terdapat pelbagai jenis motor kawalan yang digunakan dalam peralatan pembuatan semikonduktor, seperti yang ditunjukkan di bawah. Adalah penting untuk memahami ciri-ciri setiap satu dan memilih motor optimum mengikut spesifikasi yang diperlukan untuk setiap proses.

1) Motor servo

Motor ini boleh mengawal kedudukan, kelajuan dan tork dengan ketepatan yang tinggi. Kawalan gelung tertutup menggunakan pengekod resolusi tinggi mencapai kedudukan berketepatan tinggi dan responsif yang tinggi.

Ia sesuai untuk aplikasi yang memerlukan kawalan ketepatan, seperti peringkat pemindahan dan mekanisme penjajaran, dan digunakan dalam banyak proses dalam peralatan pembuatan semikonduktor.
Sebaliknya, ia lebih mahal daripada motor melangkah dan sistem kawalannya agak lebih kompleks.

②Motor servo linear

Ini ialah motor kawalan yang secara langsung melakukan gerakan linear dan bukannya putaran.
Ia tidak memerlukan mekanisme penukaran putaran-ke-linear seperti skru bola, dan mencapai operasi berkelajuan tinggi pada lejang yang panjang, ketepatan tinggi, kedudukan yang sangat responsif, dan operasi yang stabil dalam julat pecutan tinggi. Dengan beberapa bahagian haus, ia juga mudah diselenggara.

Motor kawalan sering digunakan dalam peralatan pembuatan semikonduktor, terutamanya dalam proses yang memerlukan operasi kedudukan berkelajuan tinggi dan berketepatan tinggi.

③Motor langkah

Ini ialah motor kawalan dengan struktur mudah yang menggunakan kawalan gelung terbuka.
Ia sesuai untuk operasi berulang dan aplikasi beban ringan, dan berkesan untuk operasi keadaan mantap seperti bekalan gas dan kawalan injap. Ia lebih murah daripada motor servo dan menawarkan prestasi kos yang sangat baik. Walau bagaimanapun, ia mempunyai masalah seperti ralat kedudukan, langkah keluar dan getaran, dan lebih rendah daripada motor servo dari segi ketepatan kawalan.

Dalam peralatan pembuatan semikonduktor, ia biasanya digunakan dalam proses seperti pembukaan dan penutupan pintu yang agak perlahan dan tidak memerlukan fungsi tinggi dan kedudukan motor servo yang berketepatan tinggi.

④Motor langkah gelung tertutup

​Motor kawalan ini menggabungkan ciri-ciri motor servo dan motor langkah, dengan kaedah kawalan yang bertukar secara automatik daripada kawalan gelung tertutup semasa putaran kepada kawalan gelung terbuka apabila dihentikan.
Berbanding dengan motor penginjak, ia kurang terdedah kepada langkah keluar, mempunyai getaran dan hingar yang lebih rendah, dan menawarkan kebolehpercayaan dan ketepatan yang tinggi, sambil memberikan operasi yang lancar hampir seperti motor servo. Di samping itu, untuk aplikasi yang tidak memerlukan fungsi dan prestasi tinggi motor servo, ia membolehkan pembinaan sistem yang lebih murah.

Dalam peralatan pembuatan semikonduktor, motor kawalan sering digunakan dalam proses yang menekankan keseimbangan antara prestasi operasi motor servo dan kemudahan serta kos motor penggerak.

2. Prestasi motor apakah yang sesuai untuk peralatan pembuatan semikonduktor?

Peralatan pembuatan semikonduktor memerlukan kawalan lanjutan, dan motor dikehendaki mempunyai prestasi yang berbeza daripada jentera perindustrian umum.
Di sini, kami akan memberi tumpuan kepada motor servo dan menerangkan perkara utama prestasi motor yang sesuai untuk peralatan pembuatan semikonduktor.

Mempunyai ciri-ciri tork yang mencukupi

Apabila memilih motor servo untuk peralatan pembuatan semikonduktor, perkara pertama yang perlu dipertimbangkan ialah ciri-ciri tork yang boleh memacu beban peralatan dengan andal. Selain tork maksimum dan tork berterusan, adalah perlu juga untuk mempertimbangkan sama ada tork puncak seketika semasa pecutan dan nyahpecutan mencukupi.

Resolusi pengekod tinggi

Ketepatan kawalan motor servo sangat dipengaruhi oleh kaedah resolusi dan pengesanan pengekod. Motor yang dilengkapi dengan pengekod resolusi tinggi sering digunakan dalam proses yang memerlukan kedudukan yang sangat halus.

Lebar jalur kawalan yang luas

Lebar jalur kawalan motor servo mempengaruhi masa penetapan kedudukan dan ciri-ciri penindasan getaran. Dalam aplikasi yang memerlukan pergerakan dan pemberhentian berkelajuan tinggi berulang, kajian komprehensif diperlukan, termasuk pelarasan gandaan sistem kawalan dan langkah-langkah untuk mencegah resonans dalam struktur peralatan.

Dimensi luaran dan berat yang kecil

Peralatan pembuatan semikonduktor selalunya memerlukan pemasangan berbilang paksi dalam ruang yang terhad. Jika dimensi luaran atau berat motor besar, ia akan mengenakan sekatan ke atas reka bentuk keseluruhan peralatan, jadi adalah penting bahawa motor tersebut kecil dan ringan.

Kesambungan dan pengembangan yang sangat baik dengan penguat kawalan

Sistem servo bukan sekadar motor, tetapi terdiri daripada penguat servo dan peranti kawalan hos yang bekerjasama dengannya. Oleh itu, apabila memilih motor, pertimbangan mesti diberikan kepada keserasian dengan protokol rangkaian (EtherCAT, EtherNet/IP, dll.) dan kebolehkembangan dengan pelbagai sensor dan fungsi keselamatan.

Getaran rendah, penjanaan haba rendah dan penjimatan tenaga yang sangat baik

Peralatan pembuatan semikonduktor memerlukan operasi yang stabil dan berketepatan tinggi, jadi getaran dan haba yang dihasilkan oleh motor boleh memberi kesan negatif terhadap proses tersebut.
Tambahan pula, peralatan pembuatan semikonduktor menggunakan sejumlah besar kuasa secara keseluruhan, jadi motor kecekapan tenaga yang tinggi juga diperlukan dari perspektif mengurangkan impak alam sekitar dan bertindak balas terhadap pembangunan mampan.

Ciri-ciri keselamatan disertakan

Sesetengah penguat servo didatangkan dengan ciri keselamatan seperti kawalan brek dan pengehad tork. Dari perspektif pematuhan piawaian keselamatan untuk keseluruhan sistem, periksa ciri keselamatan motor dan penguat dan laksanakannya jika perlu.

Jangka hayat produk yang panjang dan kebolehpercayaan yang tinggi

Memandangkan peralatan pembuatan semikonduktor sering memerlukan operasi berterusan 24 jam, kebolehpercayaan motor servo yang tinggi adalah penting. Adalah penting untuk memilih motor servo yang direka bentuk untuk operasi jangka panjang, termasuk sistem sokongan pengeluar.

3. Barisan produk motor kawalan SANYO DENKI CO., LTD.

SANYO DENKI CO., LTD. menawarkan pelbagai jenis motor kawalan untuk memenuhi pelbagai keperluan peralatan pembuatan semikonduktor.

Motor servo "SANMOTION G"

Sistem servo AC ini mencapai prestasi servo termaju dan penjimatan tenaga.
Respons frekuensi kelajuan telah ditingkatkan kepada 3.5 kHz (1.6 kali lebih tinggi daripada model kami sebelumnya*), dan pengekod resolusi tinggi tersedia daripada standard 23 bit (64 kali lebih tinggi daripada model kami sebelumnya*) hingga maksimum 27 bit. Di samping itu, reka bentuk yang padat dan ringan menyumbang kepada pengecilan peralatan dan reka bentuk yang menjimatkan ruang.
*Produk kami sebelum ini: sistem servo AC SANMOTION R

Motor servo linear

Ia mencapai gerakan linear berkelajuan tinggi dan tepat, menyumbang kepada masa kitaran yang lebih pendek dan produktiviti yang lebih baik.
Motor servo linear tidak mempunyai bahagian yang bersentuhan atau haus secara mekanikal, seperti skru bola, jadi ia mengurangkan kekerapan penyelenggaraan peralatan.
Selain jenis rata, rangkaian kami juga termasuk jenis magnet tengah yang boleh memudahkan struktur peranti dengan membatalkan daya tarikan magnet dalam motor itu sendiri dan motor servo linear jenis berkembar pecutan tinggi.

Motor langkah "SANMOTION F"

Tork yang tinggi, getaran rendah dan hingar yang rendah dicapai. Dengan menyemak dan mengoptimumkan reka bentuk komponen, kami telah mencapai pengurangan saiz dan berat yang ketara, sambil masih mencapai tork yang tinggi.
Pemacu langkah siri "SANMOTION F" mematuhi piawaian keselamatan produk antarabangsa (seperti piawaian UL) sebagai spesifikasi standard. Barisan produknya luas, dan motor langkah pemacu linear juga tersedia. Penyesuaian fleksibel boleh dilakukan untuk memenuhi keperluan pelanggan individu, termasuk keserasian persekitaran vakum, pemprosesan aci dan pemasangan peredam.

Halaman butiran: Contoh penyesuaian motor

Motor langkah gelung tertutup "SANMOTION Model No.PB"

Motor langkah lebih mudah digunakan daripada motor servo dan lebih andal daripada motor langkah, menggabungkan kelebihan kedua-dua jenis motor.
Sensor pengesanan kedudukan bertukar secara automatik antara kawalan gelung tertutup semasa putaran dan kawalan gelung terbuka apabila dihentikan.
Ini menghalang kehilangan penyegerakan seperti motor penginjak, menyumbang kepada getaran yang lebih rendah dan kebolehpercayaan peralatan yang lebih baik.

Diselia oleh: Kumpulan SANMOTION, Jabatan Jualan, SANYO DENKI CO., LTD.

Tarikh keluaran: 2026-02-20 00:00