Pabrik-pabrik yang memproduksi semikonduktor, yang merupakan komponen elektronik paling presisi, banyak menggunakan peralatan presisi canggih yang memerlukan presisi tertinggi dibandingkan dengan pabrik di industri lain. Perangkat ini sensitif terhadap fluktuasi daya sekecil apa pun atau perubahan kondisi lingkungan, dan oleh karena itu memerlukan pengendalian lingkungan yang ketat. Oleh karena itu, stabilitas dan keandalan pasokan listrik di pabrik semikonduktor sangatlah penting, dan terdapat risiko bahwa penurunan tegangan sekecil apa pun dapat menyebabkan kerugian yang besar.
Dalam artikel ini, kami akan fokus pada peralatan manufaktur semikonduktor, target cadangan skala besar seperti lantai lini, dan sistem instrumentasi sebagai target cadangan umum di pabrik semikonduktor, dan memberikan penjelasan rinci tentang UPS yang cocok untuk masing-masing unit serta kinerja dan fungsi yang diperlukan. Saya akan.
Ada banyak jenis peralatan manufaktur semikonduktor yang digunakan dalam setiap proses pembuatan semikonduktor, yang totalnya berjumlah sekitar 170*1. Semikonduktor terkenal dengan banyaknya proses manufaktur, dan setiap proses memerlukan peralatan manufaktur semikonduktor dalam jumlah besar.
*1 Dihitung oleh perusahaan kami dengan mengacu pada "Tabel Klasifikasi Peralatan Manufaktur Semikonduktor Jepang" dari Asosiasi Peralatan Manufaktur Semikonduktor Jepang.
Produsen semikonduktor memiliki peralatan manufaktur semikonduktor dalam jumlah besar di pabriknya, dan bahkan jika terjadi masalah pada salah satu peralatan tersebut, hal tersebut dapat menyebabkan kerugian seperti cacat lot.
Untuk peralatan manufaktur semikonduktor, standar SEMI pabrikan peralatan (Standar SEMI, Standar Internasional SEMI) SEMI F47 menetapkan kekebalan penurunan tegangan (toleransi terhadap penurunan tegangan seketika). Oleh karena itu, dalam banyak kasus, UPS dipasang di pabrik peralatan manufaktur semikonduktor selama produksi, bukan disiapkan oleh pabrik semikonduktor.
Penting untuk memilih UPS dengan ukuran yang sesuai tergantung pada jenis dan skala peralatan manufaktur semikonduktor, namun dalam kasus pencadangan hanya bagian kontrol, 1kVA hingga 3kVA, atau paling banyak 5kVA, seringkali sudah cukup. Di sisi lain, jika Anda ingin mencadangkan seluruh peralatan manufaktur semikonduktor, Anda memerlukan UPS berkapasitas besar 100kVA atau lebih.
Dalam banyak kasus, waktu pencadangan 1 hingga 5 menit dipilih.
Proses produksi semikonduktor sangat presisi dan harga produknya mahal, sehingga diperlukan banyak upaya untuk mematikan peralatan produksi semikonduktor untuk pemeliharaan. Hal yang sama berlaku ketika memelihara UPS yang terpasang pada peralatan manufaktur semikonduktor. Dalam kasus UPS baterai timbal-asam, masa pakai baterai dikatakan 2 hingga 5 tahun, sedangkan baterai litium-ion memiliki masa pakai sekitar 10 tahun *2. Berdasarkan fakta ini, kami memasang UPS baterai litium-ion dengan masa pakai baterai yang lama. Dengan demikian, Anda dapat meningkatkan nilai peralatan Anda.
Kami juga merekomendasikan artikel ini: Perbandingan menyeluruh antara baterai lithium-ion UPS dan baterai timbal-asam!
*2 Untuk seri SANUPS A11K.
Peralatan manufaktur semikonduktor sering digunakan di basis produksi luar negeri. Secara khusus, UPS yang telah menyatakan sertifikasi UL/penandaan CE berguna karena dapat diekspor ke negara-negara seperti Amerika Serikat dan UE.
Kami juga merekomendasikan artikel ini: Menjelaskan tindakan pencegahan dan standar keselamatan saat menggunakan UPS di luar negeri!
Cadangan unit kontrol untuk peralatan manufaktur semikonduktor menggunakan UPS yang terpasang secara individual untuk mencegah masalah pasokan daya. Di sisi lain, tindakan penanggulangan terhadap pemadaman listrik dalam skala yang lebih besar, seperti seluruh lini produksi, seluruh peralatan AC, dan seluruh lantai, juga merupakan suatu keharusan bagi pabrik semikonduktor.
Misalnya, petir menyebabkan penurunan tegangan kurang dari 1 detik. Meskipun unit kendali setiap peralatan manufaktur semikonduktor dapat beroperasi secara normal menggunakan UPS, unit daya peralatan manufaktur semikonduktor terhenti dan produksi tidak dapat dilanjutkan. Dan karena dibutuhkan banyak waktu untuk memulai kembali peralatan manufaktur semikonduktor, pabrik semikonduktor mengalami kerugian yang sangat besar.
UPS yang besar diperlukan untuk membuat cadangan seluruh saluran atau lantai. Tidak jarang pabrik besar memasang 10 atau lebih UPS 200-300kVA. Meskipun merupakan investasi modal yang besar, di pabrik-pabrik yang membuat semikonduktor, yang merupakan produk mahal, mengambil tindakan untuk mencegah masalah pasokan listrik dapat mencegah kerugian yang dapat mencapai ratusan juta dolar akibat pemadaman listrik.
UPS yang mencadangkan seluruh saluran atau lantai berukuran sangat besar dan menggunakan listrik dalam jumlah besar. Oleh karena itu, dengan memilih UPS yang hemat daya dan hemat energi, Anda dapat menghemat banyak uang untuk tagihan listrik Anda.
Dalam kasus kami, UPS dengan Proses Paralel memiliki efisiensi konversi daya yang tinggi dan berguna untuk konservasi energi.
Misalnya, jika dibandingkan dengan UPS di bawah ini, UPS dengan Proses Paralel dapat menghemat lebih dari 3 juta yen*3 biaya listrik selama 10 tahun. Selain itu, tidak hanya biaya listrik yang melonjak, perdagangan emisi, yang dijadwalkan dimulai pada tahun 2026, juga menarik perhatian, sehingga kebutuhan akan UPS hemat energi mungkin akan semakin besar di masa depan.
*3 Dihitung berdasarkan 1kWh = 15 yen termasuk pajak (perkiraan nilai kami per April 2023)
Harga satuan untuk tegangan ekstra tinggi bervariasi tergantung kontrak, jadi silakan periksa detail kontrak untuk detailnya.
Sistem instrumentasi adalah perangkat yang mengumpulkan dan memantau informasi seperti sensor suhu dan sensor tekanan. Ini mencakup kemampuan untuk mengukur suhu, tekanan, laju aliran, dll. dengan alat ukur, dan menggunakan data tersebut untuk menghindari bahaya dan mengontrol peralatan secara otomatis.
Di pabrik skala besar seperti pabrik semikonduktor, perangkat instrumentasi dipasang dalam jumlah besar, karena penghentian sementara peralatan produksi dapat berdampak besar pada produktivitas dan menyebabkan kerugian yang besar.
Catu daya untuk sistem instrumentasi seringkali merupakan sistem 100V satu fasa. Di sisi lain, seluruh lantai dan saluran seringkali merupakan sistem tiga fase 200V/400V. Dengan kata lain, tidak mungkin untuk mencadangkan sistem instrumentasi dengan mencadangkan seluruh lantai atau saluran, dan tindakan terhadap masalah pasokan listrik perlu diambil secara terpisah.
Jika sistem instrumentasi terhenti karena masalah pasokan listrik seperti listrik padam, maka dapat mengganggu kestabilan proses produksi dan menurunkan kualitas produk. Dalam kasus semikonduktor, yang merupakan produk mahal, efek ini dapat menyebabkan kerugian besar dan diperlukan tindakan penanggulangan.
Tergantung pada jenis dan skala sistem instrumentasi, penting untuk memilih UPS dengan ukuran yang tepat, namun 1kVA hingga 3kVA, atau paling banyak 5kVA, seringkali sudah cukup.
Bila digunakan bersama dengan generator darurat, waktu cadangan adalah sekitar 5 menit untuk mengimbangi sekitar 1 menit yang diperlukan agar generator dapat menyala. Jika generator tidak digunakan bersama dengan sistem, diperlukan cadangan selama beberapa puluh menit hingga beberapa jam hingga masalah pemadaman listrik seperti pemadaman listrik pulih kembali.
Kemudahan perawatan sangat penting bagi UPS yang mencadangkan sistem instrumentasi. Pada pabrik semikonduktor dengan area yang luas, sejumlah besar alat ukur dan kontrol dipasang pada setiap pipa atau pada jarak tertentu (misalnya 50 meter). Di pabrik besar, jumlah UPS bisa mencapai beberapa ribu.
Di banyak pabrik, pemeliharaan UPS dikelola menggunakan perangkat lunak spreadsheet, dan pemeliharaan seperti penggantian baterai memerlukan banyak upaya. Dalam kasus UPS baterai timbal-asam, masa pakai baterai dikatakan 2 hingga 5 tahun, sedangkan masa pakai baterai lithium-ion adalah sekitar 10 tahun *2. 10 tahun sama dengan perkiraan masa pakai UPS *4, sehingga Anda dapat mencapai waktu untuk mengganti UPS tanpa harus mengganti baterai, sehingga mengurangi upaya pemeliharaan secara signifikan.
Kami juga merekomendasikan artikel ini: Perbandingan menyeluruh antara baterai lithium-ion UPS dan baterai timbal-asam!
UPS untuk peralatan pengukuran dan kontrol juga memerlukan keandalan yang tinggi dan kemampuan memasok listrik tanpa gangguan.
*2 Saat suhu sekitar 25℃.
*4 Untuk seri SANUPS A11K.
Dibimbing oleh: Toshiyuki Nishizawa, Insinyur Penjualan Senior, Kantor Pusat Penjualan, SANYO DENKI CO., LTD.
Tanggal rilis: