Các nhà máy sản xuất chất bán dẫn, là linh kiện điện tử có độ chính xác cao nhất, sử dụng rộng rãi các thiết bị chính xác phức tạp, đòi hỏi độ chính xác tối đa so với các nhà máy thuộc các ngành công nghiệp khác. Các thiết bị này rất nhạy cảm với những biến động nhỏ nhất về nguồn điện hoặc những thay đổi trong điều kiện môi trường và do đó cần phải kiểm soát môi trường nghiêm ngặt. Vì vậy, sự ổn định và độ tin cậy của nguồn điện trong các nhà máy bán dẫn là vô cùng quan trọng và có nguy cơ ngay cả sự sụt giảm điện áp nhất thời dù là nhỏ nhất cũng có thể dẫn đến tổn thất lớn.
Trong bài viết này, chúng tôi sẽ tập trung vào thiết bị sản xuất chất bán dẫn, các mục tiêu dự phòng quy mô lớn như sàn dây chuyền và hệ thống thiết bị đo lường làm mục tiêu dự phòng điển hình trong các nhà máy bán dẫn, đồng thời đưa ra giải thích chi tiết về UPS phù hợp với từng hiệu suất và chức năng cần thiết. Làm.
Có nhiều loại thiết bị sản xuất chất bán dẫn được sử dụng trong mỗi quy trình sản xuất chất bán dẫn, tổng cộng chiếm khoảng 170*1. Chất bán dẫn nổi tiếng với nhiều quy trình sản xuất và mỗi quy trình đòi hỏi một số lượng lớn thiết bị sản xuất chất bán dẫn.
*1 Được tính toán bởi công ty chúng tôi dựa trên "Bảng phân loại thiết bị sản xuất chất bán dẫn Nhật Bản" của Hiệp hội thiết bị sản xuất chất bán dẫn Nhật Bản.
Các nhà sản xuất chất bán dẫn có một số lượng lớn thiết bị sản xuất chất bán dẫn trong nhà máy của họ và ngay cả khi có sự cố xảy ra với bất kỳ thiết bị nào trong số đó, nó có thể gây ra tổn thất, chẳng hạn như lỗi lô hàng.
Đối với thiết bị sản xuất chất bán dẫn, tiêu chuẩn SEMI của nhà sản xuất thiết bị (Tiêu chuẩn SEMI, Tiêu chuẩn quốc tế SEMI) SEMI F47 quy định khả năng chống sụt áp (khả năng chịu sụt áp tức thời). Vì vậy, trong hầu hết các trường hợp, UPS được lắp đặt tại các nhà sản xuất thiết bị sản xuất chất bán dẫn trong quá trình sản xuất chứ không phải do các nhà máy bán dẫn chuẩn bị.
Cần phải lựa chọn UPS có kích thước phù hợp tùy theo loại và quy mô của thiết bị sản xuất chất bán dẫn, nhưng trong trường hợp chỉ dự phòng phần điều khiển thì 1kVA đến 3kVA hoặc nhiều nhất là 5kVA thường là đủ. Mặt khác, nếu muốn sao lưu toàn bộ thiết bị sản xuất chất bán dẫn, bạn sẽ cần một UPS công suất lớn từ 100kVA trở lên.
Trong nhiều trường hợp, thời gian sao lưu được chọn từ 1 đến 5 phút.
Quy trình sản xuất chất bán dẫn cực kỳ chính xác và sản phẩm đắt tiền nên phải mất rất nhiều công sức để tắt thiết bị sản xuất chất bán dẫn để bảo trì. Điều tương tự cũng áp dụng khi bảo trì UPS tích hợp trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn. Trong trường hợp UPS dùng pin axit chì, tuổi thọ của pin được cho là từ 2 đến 5 năm, trong khi pin lithium-ion có tuổi thọ khoảng 10 năm *2 Dựa trên thực tế này, chúng tôi đã lắp đặt UPS dùng pin lithium-ion. với thời lượng pin dài Bằng cách làm như vậy, bạn có thể tăng giá trị thiết bị của mình.
Chúng tôi cũng đề xuất bài viết này: So sánh kỹ lưỡng giữa pin lithium-ion của UPS và pin axit chì!
*2 Đối với dòng SANUPS A11K.
Thiết bị sản xuất chất bán dẫn thường được sử dụng tại các cơ sở sản xuất ở nước ngoài. Đặc biệt, những UPS đã công bố chứng nhận UL/dấu CE rất hữu ích vì chúng có thể được xuất khẩu sang các nước như Hoa Kỳ và EU.
Chúng tôi cũng đề xuất bài viết này: Giải thích các biện pháp phòng ngừa và tiêu chuẩn an toàn khi sử dụng UPS ở nước ngoài!
Bộ điều khiển dự phòng cho thiết bị sản xuất chất bán dẫn sử dụng UPS tích hợp riêng để ngăn ngừa các sự cố về nguồn điện. Mặt khác, các giải pháp chống mất điện trên quy mô lớn hơn như toàn bộ dây chuyền sản xuất, toàn bộ thiết bị điều hòa không khí, toàn bộ sàn nhà cũng là điều bắt buộc đối với các nhà máy bán dẫn.
Ví dụ: giả sử sét gây ra sụt áp dưới 1 giây. Mặc dù bộ điều khiển của từng thiết bị sản xuất chất bán dẫn có thể hoạt động bình thường khi sử dụng UPS nhưng bộ nguồn của thiết bị sản xuất chất bán dẫn đã ngừng hoạt động và không thể tiếp tục sản xuất. Và vì phải mất một khoảng thời gian đáng kể để khởi động lại thiết bị sản xuất chất bán dẫn nên các nhà máy sản xuất chất bán dẫn phải chịu tổn thất cực lớn.
Cần có một UPS lớn để sao lưu toàn bộ đường dây hoặc tầng. Việc các nhà máy lớn lắp đặt 10 UPS 200-300kVA trở lên là chuyện không hiếm. Mặc dù là một khoản đầu tư vốn lớn, nhưng tại các nhà máy sản xuất chất bán dẫn, vốn là sản phẩm đắt tiền, việc thực hiện các biện pháp ngăn chặn sự cố về nguồn điện có thể ngăn ngừa tổn thất có thể lên tới hàng trăm triệu USD do mất điện.
Một UPS dự phòng toàn bộ đường dây hoặc tầng có kích thước cực lớn và sử dụng một lượng điện lớn. Do đó, bằng cách chọn một UPS tiết kiệm năng lượng, bạn có thể tiết kiệm một khoản tiền lớn trên hóa đơn tiền điện.
Trong trường hợp của chúng tôi, các UPS có Xử lý song song có hiệu suất chuyển đổi năng lượng cao và rất hữu ích cho việc tiết kiệm năng lượng.
Ví dụ: khi so sánh với các UPS bên dưới, một UPS có Xử lý song song có thể tiết kiệm hơn 3 triệu yên*3 chi phí điện trong 10 năm. Hơn nữa, không chỉ chi phí điện tăng vọt mà việc buôn bán khí thải, dự kiến bắt đầu vào năm 2026, cũng đang thu hút sự chú ý, do đó nhu cầu về UPS tiết kiệm năng lượng có thể còn lớn hơn trong tương lai.
*3 Được tính toán dựa trên 1kWh = 15 yên bao gồm thuế (giá trị ước tính của chúng tôi tính đến tháng 4 năm 2023)
Đơn giá cho điện áp cao hơn thay đổi tùy theo hợp đồng, vì vậy vui lòng kiểm tra chi tiết hợp đồng để biết chi tiết.
Hệ thống thiết bị là một thiết bị thu thập và giám sát thông tin như cảm biến nhiệt độ và cảm biến áp suất. Điều này bao gồm khả năng đo nhiệt độ, áp suất, tốc độ dòng chảy, v.v. bằng các dụng cụ đo và sử dụng dữ liệu để tránh nguy hiểm và tự động điều khiển thiết bị.
Trong các nhà máy quy mô lớn như nhà máy bán dẫn, một số lượng lớn thiết bị đo đạc được lắp đặt, bởi vì ngay cả việc ngừng hoạt động thiết bị sản xuất trong thời gian ngắn cũng có thể ảnh hưởng rất lớn đến năng suất và gây ra tổn thất lớn.
Nguồn điện cho hệ thống thiết bị đo thường là hệ thống 100V một pha. Mặt khác, toàn bộ tầng và đường dây thường là hệ thống ba pha 200V/400V. Nói cách khác, không thể sao lưu hệ thống thiết bị đo bằng cách sao lưu toàn bộ tầng hoặc đường dây mà cần có biện pháp xử lý sự cố nguồn điện riêng biệt.
Nếu hệ thống thiết bị đo ngừng hoạt động do sự cố về nguồn điện như mất điện, nó có thể gây mất ổn định trong quá trình sản xuất và làm giảm chất lượng sản phẩm. Trong trường hợp chất bán dẫn là sản phẩm đắt tiền, hiệu ứng này có thể gây ra tổn thất lớn và cần có biện pháp đối phó.
Tùy thuộc vào loại và quy mô của hệ thống thiết bị đo đạc mà cần chọn UPS có kích thước phù hợp, nhưng thường thì 1kVA đến 3kVA hoặc nhiều nhất là 5kVA là đủ.
Khi sử dụng kết hợp với máy phát điện khẩn cấp, thời gian dự phòng là khoảng 5 phút để bù cho khoảng 1 phút cần thiết để máy phát khởi động. Nếu máy phát điện không được sử dụng cùng với hệ thống, cần phải sao lưu trong vài chục phút đến vài giờ cho đến khi các sự cố mất điện như mất điện được khôi phục.
Dễ bảo trì là rất quan trọng đối với UPS hỗ trợ hệ thống thiết bị đo đạc. Trong một nhà máy bán dẫn có diện tích rộng lớn, một số lượng lớn các thiết bị đo lường và điều khiển được lắp đặt trên mỗi đường ống hoặc ở những khoảng cách cụ thể (ví dụ: 50 mét). Trong một nhà máy lớn, số lượng UPS có thể lên tới vài nghìn.
Ở nhiều nhà máy, việc bảo trì UPS được quản lý bằng phần mềm bảng tính và việc bảo trì như thay pin đòi hỏi rất nhiều nỗ lực. Trong trường hợp UPS dùng pin axit chì, tuổi thọ của pin được cho là từ 2 đến 5 năm, trong khi tuổi thọ của pin lithium-ion là khoảng 10 năm *2. 10 năm tương đương với tuổi thọ dự kiến của UPS *4, vì vậy bạn có thể đến lúc thay thế UPS mà không cần phải thay pin, giảm đáng kể công sức bảo trì.
Chúng tôi cũng đề xuất bài viết này: So sánh kỹ lưỡng giữa pin lithium-ion của UPS và pin axit chì!
UPS cho các thiết bị đo lường và điều khiển cũng đòi hỏi độ tin cậy cao và khả năng cung cấp điện không bị gián đoạn.
*2 Khi nhiệt độ môi trường xung quanh là 25oC.
*4 Đối với dòng SANUPS A11K.
Giám sát bởi: Toshiyuki Nishizawa, Kỹ sư bán hàng cấp cao, Trụ sở kinh doanh, CÔNG TY TNHH SANYO DENKI
ngày phát hành: